就低震动传输而言，不论是网带运输、销条运输或二者联合运输，还是单轨或双轨运输，该系统均可满足半导体生产的高要求，确保额外的工艺可靠性。除此之外，该系统还具有一项特殊优势——灵活多变的冷却管路配置。启动该系统后，系统可向各个区域的组件提供冷空气或热空气。上面的冷空气，下面的暖空气的组合，或者反之亦然也是可能的。同时，冷热组合管将采用上冷下热或上热下冷模式，确保组件平缓的、无应力冷却，从而实现出口温度灵活可调。
在VisionX Semico系统的开发中，能效和维护便利性自然而然地被放在首位。该系统采用超高质量达到无尘车间等级要求的保温材料，确保在制成腔内的最大能源效率。标准配置的内置高温分解，使得工艺空气可以得到有效净化。该功能可确保制程室保持清洁干燥，达到无尘车间所要求的排气规格，并且每年仅需维护一次。此外，该系统的冷却装置还配备了一个回收箱，用于可靠分离结晶残留物，使系统便于维修，并延长维修周期。该系统将技术设计和创新的现代的软件相结合，并确保VisionX Semico系统可成为当前和未来的SECS/GEM/工业4.0/MES解决方案的最佳应用系统。
针对VisionX Semico系统，锐德开发出一款用于无尘车间零部件生产的最优化设计，再一次证明了锐德在热力系统全领域不可小觑的研发实力。
